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  • 智能兆声波清洗技术

  • 应用于2D和3D设备

  • 彻底的丝瓜视频在线下载级清洁

  • 温和无损伤清洗

  • 减少缺陷提高产能

SAPS兆声波清洗设备
应用于集成电路先进技术节点的平面和图形丝瓜视频在线下载
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TEBO兆声波清洗设备
应用于无损伤微小缺陷去除工艺,及更精细的高纵横比的3D结构
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TAHOE清洗设备
应用于去胶和先进清洗
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背面清洗设备
应用于背面清洗或者湿法刻蚀工艺
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槽式湿法清洗设备
应用于集成电路的湿法工艺
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电镀设备
应用于双大马士革电镀工艺
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单片清洗设备
应用于大硅片制造领域丝瓜视频在线下载正、背面清洗工艺
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立式炉设备
应用于LPCVD、氧化、退火和ALD
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涂胶设备
应用于丝瓜视频在线下载级封装
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